半導体用化学品

光酸発生剤、光重合開始剤、モノマー、架橋剤

半導体、ディスプレイ、電子、航空宇宙産業向けの超高純度特殊化学物質は、99% 以上の純度が必要です。特殊化学物質のリーダーであるヘレウス Epurio は、微量金属の含有量が少ない素材を製造する専門知識を持ち、また、多種多様な有機化合物を合成する豊富な経験も有しています。ヘレウス Epurio は、あらゆる金属を不純物レベル 10 ppb 未満で製造することができます。ヘレウス Epurio は、あらゆる重要な化学反応に対応し、革新的な新製品の開発においてお客様をサポートすることができます。

ヘレウス Epurio はさらに高品質なターンキーサービスも提供しています。お客様の信頼できるパートナーとして、必要に応じてクリーンルーム(クラス 100)で、開発した材料やお客様指定の材料をグラム単位からトン単位にスケールアップすることができます。

ヘレウス Epurio は、化学、プロセス、適切な設備に関する幅広い経験を持つ研究パートナーとして、革新的な材料の開発に取り組んでいます。また、お客様のニーズに合わせて、既存の超クリーンおよび超高純度グレード材料の受託製造も提供しています。

当社の半導体用化学品製品とサービス

光酸発生剤

重要層レジスト用のユニークな特性を持つPAG。

熱酸発生剤

ポストベーク時の最終硬化を可能にする熱酸発生剤。

光重合開始剤

高感度、耐熱性、無色透明の光重合開始剤。

架橋剤

フォトレジスト溶液のポリマー鎖を結合させる架橋剤。

アクリレートモノマー

お客様固有のポリマー用のカスタムメイドモノマー。

ターンキーサービス

ヘレウス Epurio は、分子から数トン規模の開発まで、お客様の信頼できるパートナーです。

半導体用化学品に関する最新製品カタログをダウンロード