ヘレウス Epurio は、フォトレジストに不可欠な材料、光酸発生剤、熱酸発生剤、光重合開始剤、モノマー、架橋剤などを開発しています。また、高品質なターンキーサービスも提供しており、分子から数トン規模の開発、アフターサービス、技術サポートまで、業界では信頼できるパートナーとして知られています。
詳細については、半導体用化学品概要をご覧ください。
